[发明专利]一种薄膜封装层，其制备方法及可折叠显示装置

摘要

本申请公开了一种薄膜封装层，其制备方法及可折叠显示装置。所述薄膜封装层包括复合薄膜，所述薄膜封装层的制备方法包括形成复合薄膜的步骤，所述形成复合薄膜的步骤包括：提供一衬底；提供有机预聚体，雾化或汽化所述有机预聚体；以及在所述衬底上利用无机前体形成第一无机薄膜，在形成所述第一无机薄膜的过程中向所述无机前体中加入所述雾化或汽化的有机预聚体，所述有机预聚体聚合形成有机聚合物，所述有机聚合物镶嵌在所述第一无机薄膜中，形成所述复合薄膜。所述薄膜封装层兼具较高的致密性和折叠应力抗性，满足可折叠显示装置的封装要求。