[发明专利]一种用于磷酸铁锂基于CVD工艺的加工设备及基于设备的加工工艺

摘要

本发明公开了一种用于磷酸铁锂基于CVD工艺的加工设备及基于设备的加工工艺，其结构包括入口置换室，所述入口置换室侧壁安装有辊道窑体结构，所述辊道窑体结构包括升温箱、恒温箱、冷却箱、CVD gas打入管、冷却水喷头、辊道传送带和电加热器，所述辊道窑体结构远离入口置换室的一侧安装有出口置换室，所述辊道窑体结构侧壁安装有固定结构。本发明结构新颖，且密封效果好，密封持久性强，生产安全可靠，节约使用成本，完成CVD包覆工艺，优化CVD包覆效果，其基于设备的加工工艺简单、有效实现磷酸铁锂CVD包覆。