[发明专利]一种扫描电镜样品台及其制样方法在审
| 申请号： | 202011182300.8 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112213341A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 万鹏 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202;H01J37/20 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 周莹;李馨 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种针对冷冻干燥方法得到的大孔整体材料的扫描电镜样品台及其制样方法，通过大孔材料在样品台内的原位成型，使样品制备与电镜制样一步完成，避免了脆弱的大孔整体材料在扫描电镜制样时因切割、转移、固定带来的破碎、变形，为样品提供良好的固定与保护，避免样品碎屑脱出样品台，既保证样品大孔结构不受破坏，又起到了保护电镜的作用。本发明样品台分成限位环，制备框和平台座三个主要组成部分，可以根据样品的体积收缩与表面孔结构的呈现情况，将这三个部分灵活、合理地装配组合，加强样品与样品台的接触，实现对样品表面孔结构的优选，使电镜制样更高效，测试结果更理想。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 样品 及其 方法 | ||
【主权项】：
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