[发明专利]一种温控设备及方法有效
申请号: | 202011183282.5 | 申请日: | 2020-10-29 |
公开(公告)号: | CN112346493B | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 何茂栋;芮守祯;曹小康;常鑫;冯涛;宋朝阳;董春辉;李文博 | 申请(专利权)人: | 北京京仪自动化装备技术有限公司 |
主分类号: | G05D23/19 | 分类号: | G05D23/19 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张建利 |
地址: | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种温控设备及方法,涉及半导体加工技术领域,温控设备包括:循环系统、加热器、制冷系统和温度控制装置,循环系统与负载设备连通;加热器用于对循环系统输送给负载设备的液体进行加热;通过采用两级控制方式,制冷Cout与加热Hout同时参与温度控制,与传统单一的PID温度控制,温度控制精度更高,响应速度更快。与传统温控技术中只采用加热器进行加热的温控方式不同,本发明实施例的温控设备采用压缩机的排气侧的热量进行温度的控制,实现了节能控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 温控 设备 方法 | ||
【主权项】:
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