[发明专利]一种具有粗糙表面的红外LED外延片制备方法有效
| 申请号： | 202011184180.5 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112002787B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 熊欢;徐培强;林晓珊;张银桥;王向武;潘彬 | 申请（专利权）人： | 南昌凯捷半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/22 |
| 代理公司： | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 孙文伟 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市临*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有粗糙表面的红外LED外延片制备方法，属于发光二极管领域，该方法包括：提供一衬底；在所述衬底上依次生长GaAs缓冲层、N‑AlxGa1‑xAs电流扩展层、N‑AlxGa1‑xAs限制层、N‑AlxGa1‑xAs Space层、多量子阱有源层、P‑AlxGa1‑xAs Space层、P‑AlxGa1‑xAs限制层和P‑AlxGa1‑xAs电流扩展层；在所述P‑AlxGa1‑xAs电流扩展层上进行原位生长P‑AlxGa1‑xAs粗化层；在所述P‑AlxGa1‑xAs粗化层上生长重掺P‑GaAs接触层。本发明中，通过外延工艺制备粗糙表面，促进光的散射，提高其正面出光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 粗糙 表面 红外 led 外延 制备 方法 | ||
【主权项】：
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