[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置有效
| 申请号： | 202011186149.5 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112301314B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 刘全宝;王宝;毋炳辉;史治化;高松;邱林林 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H10K71/16 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230037 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及显示屏制造技术领域，公开了一种蒸镀坩埚，包括：坩埚本体，用于容纳蒸镀材料；过滤装置，设置在所述坩埚本体内，所述过滤装置包括中心部和围绕所述中心部的周边部，所述坩埚本体包括用于承载所述蒸镀材料的底壁，所述周边部朝远离所述底壁的方向倾斜设置；所述中心部用于阻挡所述蒸镀材料中的固体杂质，所述周边部贯通开设多个第一通孔，以使所述蒸镀材料汽化后通过所述过滤装置。本发明提供的蒸镀坩埚能够将蒸镀材料中的杂质过滤，且能够确保蒸镀材料汽化后顺利从蒸镀坩埚内喷出。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
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