[发明专利]一种蓝宝石单晶生长系统及方法在审
| 申请号： | 202011186845.6 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112458533A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王健;李树新;张玉亮;宋旭波;魏超;杜迎虎;吴庆华;王志岭;王亚东;张帅 | 申请（专利权）人： | 山东新升光电科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B15/20 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 张亮 |
| 地址： | 250000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蓝宝石单晶生长系统及方法，蓝宝石单晶生长炉设有炉体，炉体内部设有坩埚，坩埚内称装溶液，蓝宝石生长晶吊设在坩埚的溶体内；坩埚的底部支撑有耐火支撑砖体，耐火支撑砖体将坩埚支撑在炉体内部；蓝宝石生长晶上端连接有籽晶杆，籽晶杆上连接有升降驱动组件；炉体的内侧壁安装有加热机构；生长数据监控服务器获取蓝宝石晶体生长过程信息，并将上述信息对应与预设阈值进行比对，判断是否超阈值，如超出预设阈值，则进行报警。提高蓝宝石晶体生长过程数据的查询效率，增加了用户的工作效率，保证蓝宝石晶体生长过程中的提拉速度、温度波动、真空度、震动、晶体重量及环境温度满足生长需求，进而保证蓝宝石单晶材料的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 生长 系统 方法 | ||
【主权项】：
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