[发明专利]一种用于表面声波滤波器的具有背面金属层的晶圆及其制造方法在审
| 申请号： | 202011190457.5 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112397569A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 左玉财;张江浩;冉忠堂;许欣;宋晓辉 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 任曼怡;黄嵩泉 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于表面声波滤波器的具有背面金属层的晶圆及其制造方法。一种制造用于表面声波滤波器的具有背面金属层的晶圆的方法，该方法包括：获取透明晶圆；对透明晶圆进行清洗；在透明晶圆的正面涂覆光刻胶；在透明晶圆的背面镀金属膜；以及剥离在透明晶圆的正面涂覆的光刻胶，以制成具有背面金属层的晶圆，其中，金属膜在利用具有背面金属层的晶圆完成相应操作之后被去除。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 表面 声波 滤波器 具有 背面 金属 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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