[发明专利]一种硅片自动除尘装置在审
| 申请号： | 202011202541.4 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112452928A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王宝根;夏媛 | 申请（专利权）人： | 王宝根;夏媛 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B7/00;B08B3/02;B08B15/04;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 杭州仁杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 33297 | 代理人： | 郑新军 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅片除尘技术领域，公开了一种硅片自动除尘装置，包括工作台，工作台的顶面设有硅片定位区，所述工作台的上侧设有基板，工作台的两侧均设有滑轨，所述基板的下端两侧均固定有与滑轨滑动连接的侧板，所述侧板与工作台之间设有驱动机构；所述基板的底面固定有吹气组件，吹气组件上连接有吹气管，所述侧板的内侧面前后两端均固定有吸气组件，所述吸气组件上连接吸气管。本发明具有除尘效率高、除尘效果好的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 自动 除尘 装置 | ||
【主权项】：
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