[发明专利]利用表面保护物质的薄膜形成方法

摘要

本发明涉及薄膜形成方法，更详细地涉及利用表面保护物质的薄膜形成方法。根据本发明的一实施例，利用表面保护物质的薄膜形成方法包括：金属前驱体供给步骤，向放置基板的腔体内部供给金属前驱体，将金属前驱体吸附于所述基板；净化所述腔体内部的步骤；及薄膜形成步骤，向所述腔体内部供给反应物质，与被吸附的所述金属前驱体反应并形成薄膜。该方法在所述薄膜形成步骤之前，还包括：供给所述表面保护物质而吸附于所述基板的表面保护物质供给步骤；以及净化所述腔体内部的步骤。