[发明专利]一种高端制造用半导体基板抛光液补偿装置有效
| 申请号： | 202011204672.6 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112454173B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 程志鸿 | 申请（专利权）人： | 深圳市旭昌辉半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/015;B24B37/005;B24B49/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体器件制造技术领域，且公开了一种高端制造用半导体基板抛光液补偿装置，包括抛光座，所述抛光座的顶部转动连接有修整盘，所述修整盘的上方设有上支撑座，所述上支撑座的内部固定连接有活动架，所述活动架的内部固定连接有柔性管，所述柔性管的一侧固定连接有弹簧杆，所述柔性管的另一侧固定连接有弹簧片。当抛光液补充完成后，漂浮板在浮力的作用下，向上移动，使检测头内的体积减少，使液压油被挤压入外套管的内部，使液压油推动滑动座一内的推杆一向内侧移动，使推杆一带动挡板堵住进液管的顶端，使该装置可以及时根据抛光液的损耗，自动进行补充和关闭，节省人力的同时，还有效避免了浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高端 制造 半导体 抛光 补偿 装置 | ||
【主权项】：
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