[发明专利]一种任意波形驱动放电控制系统在审
| 申请号： | 202011215150.6 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN112259434A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 赵凯;刘永新;张权治;孙长森;王友年 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王立普 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种任意波形驱动放电控制系统，包括：反应器、计算机、信号发生器、功率放大器和匹配网络。反应器用于维持等离子体放电；计算机，与反应器连接，用于产生第一波形数据，还用于采集反应器的电压，并判断反应器的电压中的各谐波电压与目标任意波电压中的各谐波电压是否满足约束条件，如果反应器的电压中的各谐波电压与目标任意波电压中的各谐波电压满足约束条件，则停止对反应器的电压判断；如果不满足约束条件，则调整并输出调整后的第一波形数据；信号发生器、功率放大器和匹配网络分别对第一波形数据进行处理并施加在反应器上。本发明提高了控制精度和效率，扩大了系统的适用范围和工作频率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 任意 波形 驱动 放电 控制系统 | ||
【主权项】：
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