[发明专利]一种清除石墨盘表面沉积物的方法

摘要

本发明公开了一种清除石墨盘表面沉积物的方法，第一，将待清洗的石墨盘放入清洗设备的清洗腔内；第二，将清洗腔内的压力抽至0托；第三，向清洗腔内充入氮气，使清洗腔内的压力升至1000托；第四，重复第二步和第三步，重复次数不低于三次；第五，将清洗腔内的压力再次抽至0托，并在氮气氛围下，将清洗腔升温至930℃；第六，对清洗腔内通过混合气体，并持续2小时；第七，对清洗腔进行降温，并通入氮气进行吹扫。通过此种方法可以看出反应温度不需要很高，在930℃下即可完成反应，节省电能，降低对设备内部备件的损耗，更不会致使石墨盘表面的100微米的碳化硅涂层脱落。