[发明专利]一种具有加热测温功能的湿度传感器及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202011217208.0 申请日: 2020-11-04
公开(公告)号: CN112378963A 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 张倩;边旭明;林树超;徐浩;黄晓杰;陈伟;邓娟;郭振杰 申请(专利权)人: 北京航天微电科技有限公司
主分类号: G01N27/22 分类号: G01N27/22;G01K7/16;H05B6/66
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 徐琪琦
地址: 100854*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种具有加热测温功能的湿度传感器及其制作方法,具有加热测温功能的湿度传感器包括控制芯片、基底、湿度敏感电容、加热电路和测温电路,当湿度传感器的温度较低时即测温电路所采集的温度低时,通过控制芯片导通加热电路,使加热电路的加热电阻对湿度敏感电容进行加热,从而不会使湿度敏感电容的温度过低,以保证湿度探测的精度,也就是说,在外界环境如高空环境中的温度较低时,本申请的一种具有加热测温功能的湿度传感器能持续进行湿度探测,不易出现失效的情况,且湿度探测误差小,湿度探测精度高。
搜索关键词: 一种 具有 加热 测温 功能 湿度 传感器 及其 制作方法
【主权项】:
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