[发明专利]一种门阀组件、半导体设备及门阀组件的控制方法有效
| 申请号： | 202011221018.6 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN112283436B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 魏延宝 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16K37/00 | 分类号： | F16K37/00;F16K3/02;F16K31/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种门阀组件，包括阀板、阀板控制机构、调节控制模块和调节执行机构，阀板控制机构用于控制阀板的位置，以使得阀板在封闭出气口的位置、开启出气口的位置或者部分封闭出气口的位置之间切换，阀板控制机构包括用于调节阀板在部分封闭出气口时位置的中位调节件，调节控制模块用于在接收到外部指令后，向调节执行机构发送控制信号，以使调节执行机构根据控制信号调节中位调节件。在本发明提供的门阀组件控制方法和半导体设备中，调节控制模块能够根据外部指令驱动该调节执行机构自动在线控制门阀组件的中位调节件，提高了控制门阀组件的操作效率。本发明还提供一种半导体设备和一种门阀组件的控制方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 门阀 组件 半导体设备 控制 方法 | ||
【主权项】：
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