[发明专利]基板传送装置以及利用其的基板处理方法

摘要

本发明涉及基板传送装置以及利用其的基板处理方法，更加详细地，其目的在于在装载和卸载基板时阻断基板与腔室内部的加热部之间而最小化基板的热变形。为了实现其的本发明的基板传送装置包括：机器人主体，配备有产生动力的驱动部；传送单元，支撑基板而传送；传送单元机械臂，构成为一侧被紧固到所述机器人主体，在另一侧连接有所述传送单元，并根据所述驱动部的驱动传送所述传送单元，从而将所述基板装载到用于处理基板的腔室或者从所述腔室卸载所述基板；阻断单元，在装载或者卸载所述基板时，阻隔加热所述腔室内部的所述基板的加热部与所述基板之间而阻断热传递。