[发明专利]一种引弧针及其引弧方法

摘要

本发明属于真空镀膜生产设备技术领域，公开了一种引弧针，包括第一针体和第二针体，第一针体的一端设置有调节部，另一端与第二针体的一端连接，第二针体的另一端设置有引弧部，第一针体和第二针体间呈角度连接，第一针体和第二针体的拐角连接处作为转向部，第一针体通过调节部夹装于夹具上，调节部在夹具上夹装位置不同时，引弧部与靶材间的距离不同。本发明的引弧针安装使用方便，造价低廉，能有效的减少生产品质异常，提高靶材利用率，解决了因新旧靶材，引弧针整体形状变动大且频繁的问题，能够减缓引弧过程中的驱动冲击，减少液滴发生的几率。