[发明专利]一种用于晶界扩散渗金属的钕铁硼磁铁改性装置在审
| 申请号： | 202011232044.9 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112201466A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 詹艺 | 申请（专利权）人： | 亚星智联（厦门）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01F41/02 | 分类号： | H01F41/02;H01F1/057 |
| 代理公司： | 厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙) 35235 | 代理人： | 陈远洋 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用于晶界扩散渗金属的钕铁硼磁铁改性装置，包括进料腔室、溅射扩散工艺腔室、出料腔室以及基座，进料腔室设置有三维工件转架系统，离子源刻蚀系统以及第一加热系统，溅射扩散工艺腔室设置有溅射源系统、高能离子源系统以及第二加热系统，出料腔室设置有第三加热系统。本发明的一种用于晶界扩散渗金属的钕铁硼磁铁改性装置，根据制备高矫顽力钕铁硼复合工艺流程合理配置，进料腔室具有离子刻蚀和预加热功能，溅射扩散工艺腔室具有溅射镀金属膜及金属扩散功能，出料腔室具有回火热处理功能，3个腔室之间通过阀门隔开，各自工作，互不干扰，实现了生产的连续性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扩散 金属 钕铁硼 磁铁 改性 装置 | ||
【主权项】：
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