[发明专利]具有多自由度移动的微机电致动装置在审
| 申请号： | 202011232136.7 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112777561A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 许郁文 | 申请（专利权）人： | 躍旺创新股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;B81B7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 肖靖 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微机电致动装置，包括：一基板，具有一贯穿空腔；一锚体，设置于该基板上；一第一框体，围绕该锚体而设置；以及一弹性支撑体，连接于该第一框体与该锚体之间，并使该第一框体悬浮于该基板上，其中：该贯穿空腔具一第一面积；该第一框体在该基板具一第二投影面积；以及该第一面积与该第二投影面积具一重叠部分。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 自由度 移动 微机 电致动 装置 | ||
【主权项】：
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