[发明专利]单晶的制造方法在审
| 申请号： | 202011232210.5 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112779593A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 林田寿男 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/28 | 分类号： | C30B13/28;C30B29/06;C30B13/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 童春媛;杨戬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
即便在刚开始交替旋转之后也稳定地控制晶体直径，从而防止单晶的位错发生。依据本发明的单晶的制造方法包括：锥形部培育工序(S13)，使单晶(4)沿一个方向旋转，同时以使单晶(4)的直径扩大的方式一边增加原料棒(2)的下降速度一边进行单晶(4)的生长；以及直筒部培育工序(S14)，在锥形部培育工序(S13)之后，使单晶(4)的旋转方向交替旋转，同时以使单晶(4)的直径维持目标直径的方式一边将原料棒(2)的下降速度维持在第1下降速度(V |
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| 搜索关键词： | 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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