[发明专利]一种高端光伏组件生产用真空系统及其抽真空工艺

摘要

本发明涉及一种高端光伏组件生产用真空系统及其抽真空工艺，所述抽真空工艺是基于所述真空系统实现的，所述真空系统包含冷却分离系统（1）、真空泵组（2）和分离收集罐（3）；所述冷却分离系统（1）与真空泵组（2）通过气体管路相连接；所述分离收集罐（3）通过排液管路分别与冷却分离系统（1）和真空泵组（2）相连接；所述真空工艺包含助剂气体冷却液化分离、真空泵内压缩液化分离和液体助剂集中回收。本发明将助剂气体液化而得到有效分离；泵体排污口结构简单，将真空泵内液体及时有效排出；降低真空泵故障率、提高真空泵的寿命及工作效率、降低功耗；改进真空泵密封防尘结构，改善真空泵工作环境，延长工作寿命。