[发明专利]一种玻璃蚀刻方法有效
| 申请号： | 202011240798.9 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112266178B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 张轶鸣 | 申请（专利权）人： | 泰极微技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游度假*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃蚀刻方法，所述玻璃刻蚀方法通过采用碱和碳原子数≤10的醇类有机物的溶液作为蚀刻液，并辅助采用超声，大大降低了蚀刻后玻璃内壁的粗糙度，其粗糙度能够达到≤6nm，能够广泛应用于各种玻璃的刻蚀，应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
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