[发明专利]一种基板上通孔或凹陷蚀刻的蚀刻液及其制备方法和用途有效
| 申请号： | 202011240814.4 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112375570B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 张轶鸣 | 申请（专利权）人： | 泰极微技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/02 | 分类号： | C09K13/02;H01L21/306;C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游度假*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板上通孔或凹陷蚀刻的蚀刻液及其制备方法和用途，所述蚀刻液包括碱、醇和溶剂水；所述蚀刻液中的碱以质量百分含量计为20‑50％；所述蚀刻液中的醇以体积分数计为5‑20％。本发明提供的蚀刻液通过引入特定的醇组分，实现了对基板的特定区域的高效蚀刻，避免了氢氟酸系蚀刻液带来的过度蚀刻问题。醇的引入降低了蚀刻溶液的表面张力，使蚀刻溶液更容易渗透进玻璃表面的微结构，加速蚀刻，进一步地，醇的加入可以促进蚀刻溶液和基板间的物质交换，加速蚀刻反应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板上通孔 凹陷 蚀刻 及其 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
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