[发明专利]一种多接头的真空检测装置和薄膜规真空度检测方法在审
| 申请号： | 202011241981.0 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112556921A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 郭远军;何斌;侯少毅;黎天韵;方威;卫红 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01M3/34 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;唐敏珊 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种多接头的真空检测装置和薄膜规真空度检测方法，可通过多个接头同时连接多个待测薄膜规进行检测，检测时，若标准真空测量仪器的测得值没变化表示所有薄膜规均合格，若有变化表示其中至少一个薄膜规不合格，从而可通过对半排查的方式确定不合格薄膜规；与现有技术中只能逐个检测的方式相比，检测效率更高，操作更方便，且该多接头的真空检测装置的结构简单、成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接头 真空 检测 装置 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于季华实验室，未经季华实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011241981.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
