[发明专利]MEMS皮拉尼计及其制作方法、MEMS传感器及电子设备在审
| 申请号： | 202011243233.6 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112320750A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 邱文瑞;刘兵;方华斌;田峻瑜;王德信;陈岭;孟晗;赵紫雲 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00;G01L21/12 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS皮拉尼计及其制作方法、MEMS传感器及电子设备。其中，所述MEMS皮拉尼计包括：基底；绝缘隔热层，所述绝缘隔热层设于所述基底的一表面；以及金属发热体，所述金属发热体设于所述绝缘隔热层背向所述基底的表面。本发明的技术方案能够克服目前皮拉尼计的总体尺寸大、难以集成且不利于小型化发展的问题。 | ||
| 搜索关键词： | mems 皮拉尼计 及其 制作方法 传感器 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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