[发明专利]激光装置有效
| 申请号： | 202011244027.7 | 申请日： | 2016-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN112366499B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 浅山武志;增田浩幸 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036;H01S3/038;H01S3/097 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 激光装置，其中，所述激光装置具有：腔室，其在内部配置有一对放电电极；气体供给排放装置，其向所述腔室的内部供给激光气体，并排放所述腔室的内部的激光气体；压力传感器，其用于计测所述腔室的内部的气压；以及控制部，其构成为进行第1控制和第2控制，在该第1控制中，对所述气体供给排放装置进行控制，以按照第1射数或按照第1经过时间，停止激光振荡来更换所述腔室内的激光气体，在该第2控制中，对所述气体供给排放装置进行控制，以在所述第1控制之前，在所述腔室的内部的气压达到第1规定气压的情况下，停止所述激光振荡来更换所述腔室内的激光气体。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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