[发明专利]机器人系统、机器人的控制方法、半导体制造系统在审
| 申请号： | 202011244865.4 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112775933A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 山口刚;赤江裕光 | 申请（专利权）人： | 株式会社安川电机 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J9/04;B25J11/00;B25J13/00;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 徐丹;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 机器人系统、机器人的控制方法、半导体制造系统。在确保臂的伸长的同时使回转半径小型化。机器人具有：水平多关节型的第一臂(17)，其具备被设置成能够绕回转轴线(AX0)旋转的第一基部连杆、第一中间连杆和保持工件的第一手部(21)，第一臂使第一手部沿着以回转轴线为中心的第一径向(D1)移动；水平多关节型的第二臂(19)，其具备被设置成能够与第一基部连杆独立地绕回转轴线旋转的第二基部连杆、第二中间连杆和保持工件的第二手部(23)，第二臂使第二手部沿第二径向(D2)移动，第二径向与第一径向之间绕回转轴线具有规定的角度；及回转装置(24)，其使第一臂及第二臂在保持绕回转轴线的周向的位置关系的状态下在周向上一起回转。 | ||
| 搜索关键词： | 机器人 系统 控制 方法 半导体 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社安川电机，未经株式会社安川电机许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011244865.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：显示设备
- 下一篇：并联连杆机器人系统和并联连杆机器人
