[发明专利]一种二硫化钼薄膜辅助的热光调制器在审
| 申请号： | 202011251586.0 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112526771A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 甘雪涛;黎志文 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710072 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种二硫化钼薄膜辅助的热光调制器，包括二硫化钼薄膜、微环谐振腔、总线波导以及两个金属电极，其特征在于二硫化钼薄膜覆盖于微环谐振腔的上表面，两个金属电极分别覆盖在微环谐振腔内外两侧的二硫化钼薄膜上；微环谐振腔与总线波导之间通过侧向耦合方式进行信号光的耦合。在两个金属电极上施加电偏压，二硫化钼薄膜中产生焦耳热，并热传导到微环谐振腔上；根据热光效应，微环谐振腔的谐振波长发生移动；通过移动微环谐振腔的谐振波长，使其与信号光波长重合与否，可实现信号光在总线波导输出端的输出光功率变化，从而实现调制功能。本发明有益于形成一种制备工艺简单、尺寸小且能耗低的热光调制器，在光开关和滤波器等领域得到应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二硫化钼 薄膜 辅助 调制器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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