[发明专利]一种WCrSiN超硬涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202011252080.1 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112391591B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 杨俊峰;杨红艳;杨瑞芳;张临超;谢卓明;王坤;刘瑞;王先平;吴学邦;方前锋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院;中国核动力研究设计院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/34;C23C14/02 |
| 代理公司： | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人： | 干桂花 |
| 地址： | 230000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种WCrSiN超硬涂层及其制备方法，涉及表面涂层技术领域，包括依次沉积在基体表面的WCrSi打底层和WCrSiN主体层。本发明提出了一种WCrSiN超硬涂层，该四元纳米复合超硬薄膜涂层中，(W，Cr)2N、(W，Cr)N、SiNx三相复合，基于固溶强化、多相强化以及纳米复合结构的组合，实现不同尺度的协同强化作用，从而最大程度上提高了薄膜的硬度，其硬度可达45GPa以上。此外，在溅射WCrSiN主体层前先在基体表面溅射一层WCrSi打底层，能够提高薄膜涂层与基体之间的结合力，改善膜裂等缺陷。本发明制备方法操作简单、沉积速率快、易于批量生产，有很好的推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 wcrsin 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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