[发明专利]一种内置真空传感器的便携式仪器分子泵有效
| 申请号： | 202011255030.9 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112483433B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 陈元;戴梦杰;侍尉;刘宇峰;蒋公羽;姚如娇;庞骏德;朱勇勇 | 申请（专利权）人： | 上海裕达实业有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D27/00;H01J49/24 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 200245 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种内置真空传感器的便携式仪器分子泵，包括涡轮分子泵、压力传感器、感应发电装置以及无线传输模块，压力传感器设置有多个，多个压力传感器设置在涡轮分子泵的腔室内侧；所述感应发电装置依靠涡轮分子泵内部的叶片转动的能量感应发电，感应发电装置为所述压力传感器供能；无线传输模块将压力传感器测定的数据传输至质谱仪控制主机。本发明可为便携式质谱仪提供所需的高真空度，支持质谱仪正常工作；实时监控质谱仪内部真空度数值，配合软件保证内部关键部件不会因真空度不足而故障损坏；本发明能实现自我供能；通过无线信号与质谱仪控制主机连接实现数据的传输，去除实体网线的连接，并进一步缩减装置体积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 内置 真空 传感器 便携式 仪器 分子 | ||
【主权项】：
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