[发明专利]一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的侧机械手在审
| 申请号： | 202011257306.7 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112359341A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 李志方;陈思;李运俊;陸创程;冯晓庭 | 申请（专利权）人： | 广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑;何秋林 |
| 地址： | 523838 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的侧机械手，其设置在进料舱或出料舱中，将进料舱的挂板传送到输运舱或将输运舱的成品挂板传送到出料舱，其由动力组、直线模组和夹紧组件三部分组成；夹紧组件竖向设置，其为一三层结构，包括中间的移动安装板、底层的底固定板，以及最前面的滑动爪部分，移动安装板滑动安装在一横置的导轨上，该导轨又可横向滑动的安装在底固定板上，移动安装板设有推动块，该推动块位于横置导轨两侧的限位块之间，与它们形成相抵结构，且该推动块位于移动安装板远离输运舱的一侧；动力组与直线模组相连，直线模组与移动安装板相连。本发明机械手控制精度高，能平稳、可靠地完成大型多舱室真空镀膜机内大型挂板的传送任务。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 大型 真空镀膜 机工 件挂板 传送 机械手 | ||
【主权项】：
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