[发明专利]导电元件在审

专利信息
申请号: 202011260635.7 申请日: 2020-11-12
公开(公告)号: CN112803065A 公开(公告)日: 2021-05-14
发明(设计)人: 纪尧姆·罗德里格斯;克里斯多夫·迪巴里;奥马尔·哈利莫里;马加利·泰赛尔 申请(专利权)人: 法国原子能源和替代能源委员会
主分类号: H01M10/0562 分类号: H01M10/0562;H01M10/058;H01M10/054;H01M4/66
代理公司: 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 代理人: 方挺;侯晓艳
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种微电子装置,包括:支撑件(1)和导电元件,所述导电元件包括以叠层方式且依次位于所述支撑件(1)的第一面上方的基于金属的第一层和与所述第一层接触的、基于选自MoSix和WSiy的材料的第二层。所选材料层的这种组合确保了非常令人满意的导电性,因为很容易获得小于3欧姆的电阻。同时,基于MoSi或WSi的层有效地保护下方的层,尤其是防止氧化。
搜索关键词: 导电 元件
【主权项】:
暂无信息
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