[发明专利]一种异质结太阳能电池的制备工艺

摘要

本发明公开了一种异质结太阳能电池的制备工艺，包括如下步骤：对硅片进行磷吸杂处理，在硅片正背表面沉积形成磷扩散层，然后通过酸刻蚀去除磷扩散层；通过碱溶液对硅片表面进行清洗，形成硅片表面的织构化；在织构化的硅片正背面沉积非晶硅薄膜层；在非晶硅薄膜层上正背面沉积导电薄膜层；在导电薄膜层上正背面覆盖金属电极；固化金属电极；测试分选。本发明提供的一种异质结太阳能电池的制备工艺，极大程度上改善了生产过程中硅片品质问题带来的影响，从而进一步提升了异质结太阳能电池的转换效率。