[发明专利]迟滞补偿的系统和方法在审
| 申请号： | 202011266486.5 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112821804A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | E·R·M·维索尔伦;P·塔克斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H02N2/06 | 分类号： | H02N2/06;H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 迟滞补偿的系统和方法。为了补偿致动器的迟滞，可选择在第一位置和第二位置之间的路径，并且可将包括迟滞补偿部分的驱动信号施加到致动器元件，以沿所述选择的路径移动对象。 | ||
| 搜索关键词： | 迟滞 补偿 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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