[发明专利]一种氧化钨基陶瓷靶材材料的凝胶注模成型制备方法在审
申请号: | 202011266679.0 | 申请日: | 2020-11-13 |
公开(公告)号: | CN112374887A | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 高明;张虎;张花蕊;杨本润 | 申请(专利权)人: | 北京航大微纳科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/495 | 分类号: | C04B35/495;C04B35/624;C04B35/638 |
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地址: | 100089 北京市海淀区学*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明涉及一种氧化钨基陶瓷靶材材料的凝胶注模成型制备方法,包括以下步骤:原料准备:混合粉体、包含高纯氧化钨和掺杂源粉体的混合粉体,掺杂源选自Ti、Mo、V、Al、Li、Zr中的至少三种,所述混合粉体的纯度大于99.95%,平均粒径500nm‑1800nm,D50粒径在200‑750nm;M |
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搜索关键词: | 一种 氧化钨 陶瓷 材料 凝胶 成型 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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