[发明专利]一种宽带增透膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202011266720.4 申请日: 2020-11-13
公开(公告)号: CN112376021B 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 原清海;林兆文;谢雨江;王奔 申请(专利权)人: 上海米蜂激光科技有限公司
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30;C23C14/06;C23C14/18;G02B1/116
代理公司: 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 代理人: 李思琼;冯振华
地址: 200136 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种宽带增透膜及其制备方法,该增透膜包括基底层,所述基底层上由内向外依次包括第一层Cu膜层和第二层MgF2膜层,其物理厚度依次为2.0‑3.5nm和70.0‑80.0nm。本发明通过引入金属层来降低整个膜层厚度,减少膜层数,提高制备的生产效率;并且改善增透膜的光谱特性,使光谱波纹减少,从而提高薄膜的重复性和稳定性。
搜索关键词: 一种 宽带 增透膜 及其 制备 方法
【主权项】:
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