[发明专利]一种多轴芯棒沉积设备及其工艺

摘要

一种多轴芯棒沉积设备，包括沉积腔体、喷灯、引杆组件，引杆组件包括下端伸入到沉积腔体内的引杆，引杆组件还包括升降驱动件、连接件、多个旋转固定件及旋转驱动组件，多个旋转固定件在连接件的下方沿周向等距排列，喷灯亦设有多个。本发明多轴芯棒沉积设备可以同时沉积多根芯棒，其沉积速率是常规VAD设备的两倍以上，在产量相同的情况下，需要的设备更少；本发明在沉积腔体的多个侧面上设有喷灯，在生产过程中同时沉积，因而沉积腔体内热量比较高，更容易获得高密度疏松体，有利于制备大尺寸芯棒，从而有效的提高芯棒的利用率、降低成本，另外高密度疏松体也有利于减小在运输过程中的疏松体开裂现象，提高合格率。