[发明专利]控制系统、控制方法、控制程序和处理系统在审
| 申请号： | 202011277266.2 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112947061A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 樋口龙太 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04;G05B15/02;H01J37/32;C23C16/505;C23C16/02 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于：稳定地控制处理装置内的状态。解决课题的方法在于：控制系统具有决定部、模拟部、第一控制信号生成部、第二控制信号生成部、第一调整部和第二调整部。决定部基于方案决定模型和控制算法。模拟部利用模型模拟处理装置的状态。第一控制信号生成部利用控制算法由测定值生成控制信号，将所生成的控制信号输入给处理装置。第二控制信号生成部利用控制算法由模拟部的输出值生成控制信号，将所生成的控制信号输入给模拟部。第一调整部基于测定值和输出值调整模型所含的模型参数的值。第二调整部利用包含调整后的模型参数的值的模型调整控制算法所含的控制参数的值。 | ||
| 搜索关键词： | 控制系统 控制 方法 控制程序 处理 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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