[发明专利]搬送系统及基板支承构件在审
| 申请号： | 202011277568.X | 申请日： | 2017-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN112442724A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 藤方淳平 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08;C25D17/28;C25D7/12 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供基板固持器、镀覆装置、搬送系统、基板支承构件、检测系统及搬送装置，该搬送系统可确实搬送具有翘曲状态的基板。本发明的搬送系统具备搭载基板(WF)的上阶手臂(237)。上阶手臂(237)具备：基部(132)；及配置于基部(132)的表面上的至少一个突起部(134)。突起部(134)具有用于通过真空吸附基板(WF)的真空孔。真空孔在突起部(134)顶部具有开口(138)。突起部(134)顶部的高度相对于基部(132)表面固定。在突起部(134)顶部，通过真空吸附基板(WF)。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 支承 构件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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