[发明专利]一种碳化硅衬底位错自动识别方法及系统有效
| 申请号： | 202011279607.X | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112329687B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 张九阳;舒天宇;许晓林;李霞;赵树春;高超 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06V20/69 | 分类号： | G06V20/69;G06V10/764;G06V10/774;G06V10/82;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 刘德顺 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种碳化硅衬底位错自动识别方法及系统，用以解决现有的位错识别方法无法进行自动拍照记录，进而无法实现自动识别碳化硅衬底位错的技术问题。方法包括：通过显微镜对待测碳化硅衬底进行自动扫描，并对扫描区域进行自动拍照记录；通过计算机设备接收显微镜发送的与待测碳化硅衬底有关的位错图像，并将位错图像输入至碳化硅衬底位错识别神经网络模型中；基于碳化硅衬底位错识别神经网络模型，对待测碳化硅衬底中的位错进行识别；将碳化硅衬底位错识别神经网络模型输出的位错信息在计算机设备上进行显示。本申请通过上述方法实现了对碳化硅衬底位错扫描区域的自动拍照记录，进而实现了自动识别碳化硅衬底位错的过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 衬底 自动识别 方法 系统 | ||
【主权项】：
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