[发明专利]化学机械研磨设备防碰撞侦测系统有效
| 申请号： | 202011280766.1 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112405327B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 李峰;刘宇龙 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/04;B24B37/34;B24B49/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于化学机械研磨设备技术领域，具体的说是化学机械研磨设备防碰撞侦测系统，包括支撑单元和打磨单元；支撑单元包括转轴、转盘和研磨垫；支撑单元的一侧打磨单元；打磨单元包括转动杆、横杆、电机和研磨头；电机与研磨头之间设有圆柱形状的基板；基板的下端面与研磨头的上端面之间留有间隙，基板的外圈上设有距离传感器；在研磨头一旁安置距离传感器，实时检测研磨垫用调节器与研磨头之间的距离，一旦距离传感器检测距离小于用户设置的安全距离时，危险距离信息传到操控电脑上，操控电脑将信号反馈给研磨垫用调节器的驱动器，电机停止工作，报警并对检修和清理研磨垫上的金属碎屑。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 设备 碰撞 侦测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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