[发明专利]上电极组件及半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202011280862.6 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112397370A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 聂淼 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种上电极组件及半导体工艺设备，该上电极组件用于半导体工艺设备馈入射频能量。所公开的上电极组件包括射频连接部、线圈连接部和导向套，导向套具有相背设置的第一端面和第二端面，第二端面开设有向导向套的内部延伸的安装空间，安装空间内设有多个定位空间，每个线圈连接部对应设置于一个定位空间内，相邻的两个线圈连接部间隔排布；第一端面开设有插接通道和连通空间，插接通道向导向套的内部延伸并与定位空间连通，插接通道与安装空间一一对应设置，射频连接部穿设于插接通道内，并与线圈连接部相连接；连通空间向导向套的内部延伸并与安装空间连通。上述方案能够降低耦合线圈内由于设置有导向套而存在的尖端放电风险。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 组件 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
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