[发明专利]一种硅片吸附吸盘变间距组件在审

专利信息
申请号: 202011280984.5 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN112382600A 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 林佳继;姚正辉;裴维维;张峥水;时祥;马力 申请(专利权)人: 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/677
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及光伏组件装置技术领域,具体涉及一种硅片吸附吸盘变间距组件,旨在解决现有技术中硅片传输装置无法满足硅片在花篮与石英舟之间周转过程中实现变间距要求形成的问题,其技术要点在于:包括两组间距调整块、组件安装板及调节部件,每组所述间距调整块一一对应设置,相互对应的两个所述间距调整块之间设置有连杆,同组相邻两个所述间距调整块之间设置有互联装置,同组所述间距调整块之间贯穿有导向轴,所述间距调整块位于所述组件安装板厚度方向其中一侧,每一所述间距调整块上分别固定有一吸盘,所述调节部件设置有两个,两个所述调节部件分别用于对两组间距调整块位置进行调节。
搜索关键词: 一种 硅片 吸附 吸盘 间距 组件
【主权项】:
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