[发明专利]一种平插式的电子探头及探测方法

摘要

本发明公开了一种平插式的电子探头，涉及电子显微成像技术、金属材料晶体学表征技术领域，使其具有更高的空间分辨率，同时支持样品的大范围移动，以及能够直接获取背散射电子图像；提高大尺寸样品的适用性、以及与ECCI技术联合使用的便利性，具体方案为：包括电子枪、传输通道、样品室、信号读取装置和信号接收装置，电子枪用于发射电子束，电子束通过传输通道进入至样品室，样品室内设有样品台，样品台用于放置样品，电子束照射到样品并进行背散射，信号读取装置用于接收经样品台背散射的电子束，信号读取装置为CCD相机，CCD相机与信号接收装置数据连接。本发明提供的一种平插式的电子探头空间分辨率高，直插式的EBSD探头工作距离更小。