[发明专利]可拆式粉末原子层沉积装置在审

专利信息
申请号: 202011281747.0 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN112609169A 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 林俊成;张容华;古家诚 申请(专利权)人: 鑫天虹(厦门)科技有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人: 孙皓晨
地址: 361101 福建省厦门市厦门火*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提供一种可拆式粉末原子层沉积装置,主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元,其中驱动单元连接轴封装置,而真空腔体透过至少一连接单元锁固在轴封装置的一端。驱动单元透过轴封装置带动真空腔体转动,以搅拌真空腔体的一反应空间内的粉末,以利于在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。此外完成原子层沉积的真空腔体可由轴封装置上卸下,以方便使用者将粉末由真空腔体取出,并清洁真空腔体,以提高使用时的便利性。
搜索关键词: 可拆式 粉末 原子 沉积 装置
【主权项】:
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