[发明专利]基板拾取装置及基板拾取方法在审
| 申请号： | 202011282074.0 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN113009729A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 中田胜喜 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;H01L21/683;C03B33/03 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及在拾取基板时减少其他基板的跟随的基板拾取装置及基板拾取方法。基板拾取装置是从在载置台上排列的多个单位基板中拾取一个单位基板的装置，并具备吸附手和控制器。吸附手装配于机械臂。吸附手具有：压杆，其从上方对拾取对象的单位基板的第一边角料及第二边角料进行按压；以及吸附部主体，其能够相对于压杆向斜上方移动，且用于从上方对拾取对象的单位基板进行吸附。控制部执行以下步骤：使压杆从上方按压第一边角料及第二边角料的步骤；使吸附部主体对拾取对象的单位基板进行吸附的步骤；以及通过使吸附部主体以相对于压杆向斜上方离开的方式移动，而对拾取对象的单位基板进行拾取的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 拾取 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星钻石工业股份有限公司，未经三星钻石工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011282074.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
