[发明专利]发光二极管的外延片及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202011282626.8 申请日: 2020-11-17
公开(公告)号: CN112582508B 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 洪威威;尚玉平;梅劲;董彬忠 申请(专利权)人: 华灿光电(浙江)有限公司
主分类号: H01L33/06 分类号: H01L33/06;H01L33/12;H01L33/14;H01L33/00
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 吕耀萍
地址: 322000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本公开提供了一种发光二极管的外延片及其制备方法,属于光电子制造技术领域。该外延片包括衬底、AlN缓冲层、三维成核层、u型GaN层、n型GaN层、多量子阱层、低温p型层、电子阻挡层和高温p型层,多量子阱层包括多个InxGa1‑xN量子阱层和多个GaN量子垒层、以及位于InxGa1‑xN量子阱层和GaN量子垒层之间的复合结构,复合结构包括n‑InyGa1‑yN层和SiN层。n‑InyGa1‑yN层中的Si原子能够填充InGaN材料中的缺陷空位,较低In组分的InGaN材料有利于减弱极化电场,改善能带倾斜,SiN层有利于载流子在多量子阱层中的均匀扩散,提高载流子局域化效应,提高LED的发光效率。
搜索关键词: 发光二极管 外延 及其 制备 方法
【主权项】:
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