[发明专利]一种多晶元盘移载存放机构

摘要

本发明公开了一种多晶元盘移载存放机构，它包括有多工位底板和底座，多工位底板滑动安装在底座上，多工位底板上安装自动收集装置，自动收集装置包括气缸、左侧扶板、右侧扶板、后挡板和抬升底板，左侧扶板、右侧扶板和后挡板围绕在用于存放晶元载盘区间的四周中三个方向，抬升底板位于该区间的底部，且气缸驱动抬升底板上下移动，对称设置的可调式左限位和可调式右限位相对面上设有止挡块，止挡块端侧与反复堆垛在存放晶元载盘区间内的晶元载盘边缘相抵；本发明中公开了一种多晶元盘移载存放机构，包括有自动收集装置，其利用气缸和止挡块可以实现简单便捷的收集和堆叠动作，降低了人工成本，提升资源利用效率。