[发明专利]一种用于制造半导体的化学品供应系统及其工作方法在审
| 申请号： | 202011284620.4 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112283590A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 戴志超;叶国梁;沈琦 | 申请（专利权）人： | 江苏雅克福瑞半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/14 | 分类号： | F17D1/14;F17D3/01;F17D5/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张超 |
| 地址： | 214200 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于制造半导体的化学品供应系统，包括完全相同的至少两套供应设备以及和每套供应设备化学药品罐的出口连接的沉积腔，每套供应设备包括一个用于储存需要进行沉积的化学药品的化学药品罐，化学药品罐内具有能够实施检测罐内药品余量的传感器，化学药品罐的进口同时连接到另一个化学药品罐的出口以及当前套供应设备的载气罐出气口，载气罐的进气口和空压机连接。一个化学药品罐的进口和另一个化学药品罐的出口连接的共用管路上设有至少一个截止阀。本发明还公开了此种供应系统的工作方法。采用本发明的设计方案，能够使得化学药品罐的药品被完全用光，实现0残留，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制造 半导体 化学品 供应 系统 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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