[发明专利]一种适用于高频、宽带声表面波器件的异质层状压电基底在审
| 申请号： | 202011285632.9 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112468109A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 张巧珍;刘会灵;赵祥永 | 申请（专利权）人： | 上海师范大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 上海唯智赢专利代理事务所(普通合伙) 31293 | 代理人： | 刘朵朵 |
| 地址： | 200234 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于高频、宽带声表面波器件的异质层状压电基底，利用水平剪切型漏声表面波，其包括依次排列的叉指换能器、压电薄膜层、至少一层布拉格反射层以及衬底层；布拉格反射层是由低声阻抗层覆盖在高声阻抗层上形成的，压电薄膜层为掺钪氮化铝薄膜，掺钪氮化铝薄膜的欧拉角设置为(0°±5°、θ、ψ)时，θ和ψ分别满足以下条件：50°≤θ≤90°，40°≤ψ≤80°。本发明的异质层状压电基底，能够抑制能量向衬底的泄露，将能量集中在有效压电层内，提高压电转换效率；利用旋转欧拉角优化压电薄膜取向，能够调节声场分布，得到具有优良声表面波性能的漏声表面波，特别适用于高频、宽带声表面波器件，极具应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 高频 宽带 表面波 器件 层状 压电 基底 | ||
【主权项】：
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